HOME 静電チャック 静電チャック 電気的な力で対象物（ワーク）を吸着させる機器です。繊細で脆い対象物（ワーク）も少ない負担で保持することができます。 セラミックス 静電チャック 吸着方式 クーロン力または、ジョンソン・ラーベック力 テーブル平面度3μm以下可能 セラミックステーブルの為、優れた平面度を維持可能 真空下での使用も可能 セラミックス+耐真空用部品により一定の真空下で使用が可能 （使用条件の確認は必要） 優れた絶縁抵抗 セラミックスの体積抵抗率＞10¹²／Ω・㎝により優れた耐久性を発揮 製品画像 丸型静電チャック+電源製品画像 静電チャック丸型1製品画像 静電チャック丸型2製品画像 四角型静電チャッック 形状丸型静電チャック四角型静電チャック 最大形状寸法Φ950mm × H15mmW1600mm × D950mm × H15mm 総重量約39kg約83kg 高圧電源入力：AC100V 出力：DC±3KV 吸着力（参考地）クローン力：0.3N/㎠（無アルカリガラス DC±2KV時） ジョンソン・ラーベック力：5N/㎠（SUS DC±0.5KV時） ※ワーク種・温度・湿度など使用環境で変動します。 セラミックス円筒静電チャック セラミックスESCロール ※開発品 吸着方式：クーロン式（CR） 印加電圧：Max DC±2.5KV ロール部表面材：セラミックス溶射（母材：アルミナセラミックス） 表面がセラミックスであるため、他材質に比べて格段に優れた耐摩耗性。 セラミックス特有の優れた熱膨張率により、環境温度（環境熱）による精度の変化を抑制低減。 真円度・同心度を高精度に仕上げているため、均一な吸着が可能。 電極層およびセラミックス溶射層を特殊なプロセスで構築、高緻密・高絶縁であるため高真空下にも使用が可能。 セラミックスの特性と円筒形状による軽量化を実現し、自重たわみを低減。 最大φ-300mm×L-1800mmまでのカスタマイズ可能。 セラミックス 湾曲型静電チャック ※開発品 湾曲部表面材：セラミックス溶射 （母材：アルミナセラミックス） 湾曲部を滑らかに仕上げている為、フィルムや薄型基盤などの均一吸着が可能。 最大W1500mm×D600mm までのカスタマイズ可能。 外形寸法W600mm × D200mm × H90mm 吸着部W570mm × D180mm R462-50 印加電圧Max DC±2.5KV 湾曲型静電チャック イメージ画像湾曲型静電チャック イメージ画像2湾曲型静電チャック イメージ画像3 LINE UP エアスライダ・XYθ軸ステージ 精密測定器
吸着方式：クーロン式（CR） 印加電圧：Max DC±2.5KV
吸着方式：クーロン式（CR） 印加電圧：Max DC±2.5KV