FINE CERAMICS ファインセラミックス HOME 超精密セラミックス製品 LINEUP 半導体・液晶製造装置 エアー軸受案内 真空チャック 静電チャック 超精密機器 ステージ 精密構造部材 精密測定器 セラミックスファインセラミックスとは? 「セラミックス」とは、土などの天然素材を「焼き固めたもの」という意味で、従来は陶磁器・レンガなどの窯業製品のことを指していました。 これに対し、当社が制作するセラミックスは「ファインセラミックス」と呼び、原料を科学的に配合し、新たに優れた特性を持たせ、セラミックスの性能を最大限に発揮させたものを指します。 耐摩耗性・耐蝕性・耐熱性に優れ、合成された新素材としてはダイヤモンドに次ぐ高硬度を持ち、同時に高絶縁性があります。また熱変位が非常に少なく、経年変化がありません。 その優れた特性により、超精密加工機や精密測定器・半導体・液晶パネル製造装置など、高精度が要求される機械や機器などの構造用部材に採用されています。 さらに、従来の金属素材では困難とされていた用途へと応用範囲がますます拡大しています。 ファインセラミックスとは ※動画を再生されますと音声が流れます。 世界最大級サイズも超精密に 当社では、アルミナセラミックス構造体で世界最大級サイズの製作が可能です。 最近の超精密加工機(ナノマシン)や液晶パネル製造装置などに代表される精密機械装置は、従来の金属材料構造体では要求精度が維持できずセラミックス構造体に変わりつつあります。 業界最大級サイズの焼成が可能な焼成炉 3.6スライダ動画 当社の大型高精度セラミックス部品+部品メーカーの共同開発により「大型精密装置」の総合プロデュースも手掛ける 精密構造部材 熱変位が極めて少ないセラミックスは、その特徴を活かし30年以上にわたり、ソディック内製部品として超精密加工機のコアとなる部品にも使用されています。 弊社セラミックスシリーズの素材 弊社セラミックスシリーズの素材 アルミナセラミックス Alumina ceramics セラミックスの中でも最も代表的な素材です。 酸化アルミニウムを主成分とし、サファイヤと同じコランダム結晶で構成される結晶体です。 高強度、耐摩耗性、耐蝕性に優れており、電気絶縁性が高いなどの特徴があります。 ジルコニアセラミックス Zirconia ceramics 酸化ジルコニウムを主成分とし、高温焼結・部分安定化した緻密なセラミックスです。 耐靭性、高強度、耐摩耗性に優れ、特にセラミックスの中では群を抜く高い靭性を持ち「欠けやすさ」を解消する材料として期待されています。 コージェライトセラミックス Cordierite ceramics 酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、二酸化ケイ素を主成分とし、軽量、低熱膨張率、耐熱衝撃性に優れています。 一般的に難しいとされている大型部品にも対応可能です。 素材特性表 材料アルミナ Al₂O₃コージェライト 2MgO・2Al₂O₃ ・5SiO₂ジルコニア ZrO₂鋳鉄 FC25ステンレス SUS304アルミニウム Al5052石材 班レイ石 品番SA812SA511SA610SA509SABZ1SABR6SCR01SCBR01SZ809ーーーー 外観乳白色茶系色茶系色茶系色黒色黒色白色黒色白色ーーーー 含有量99.5%以上85%83%83%80%70%ーーー 比重3.93.63.63.63.73.62.52.76.17.882.72.8~3.0 吸水率 %0000000000000.03~0.3 硬度 GPa(HV10)17911910988136.23.86 曲げ強度 MPa380250310300310240160182130040030~50 ヤング率 GPa3702302602402602101301272101102007030~90 ポアソン比0.24ー0.270.260.300.240.300.3 0.320.270.30.340.25 破壊靭性 K1CMPa・m¹/²4.63.63.93.53.42.81.51.65.1 比熱 x10³J/kg・K0.770.780.80.760.80.750.780.750.45 熱伝導率 W/m・k30.611.811.28.48.46.84.73.33.04616.72371.3 熱膨張係数 x10⁻⁶/℃ (30~100℃)5.7(20~25℃) 5.8(20~100℃)5.75.34.85.15.3<|0.1| (20~25℃)0.3(20~25℃)7.3(20~25℃) 8.5(20~100℃)8.417248 体積抵抗率 Ω・cm(20℃)>10¹⁴10¹⁰>10¹²10⁷~⁸>10¹²10⁸~⁹>10¹⁴>10¹²>10¹² 誘電率9.99.399.39.710.24.98.533.1 耐薬品性◎〇◎〇◎〇〇〇〇 用途半導体・液晶機器の構造部材静電チャック半導体・液晶機器の構造部材ローラー・プーリー等の耐摩耗品に使用 エアースライド 真空チャックエアースライド 真空チャックエアースライド 真空チャック低熱膨張部材低熱膨張部材放電加工機用部品 精密測定器精密測定器